河北首台套生产金刚石高端装备在围场下线

河北日(rì)报客户端讯（记者陈宝云）5月30日，我省首台套金刚石微波等离子体化学气相(qìxiāng)沉积（MPCVD）高端装备在围场满族蒙古族自治县(wéichǎngmǎnzúměnggǔzúzìzhìxiàn)下线。

据(jù)了解，传统金刚石制备技术长期依赖进口装备，成本高、工艺受限。由河北投实晶铠(kǎi)科技有限公司(yǒuxiàngōngsī)自主研发的MPCVD高端(gāoduān)装备通过优化微波等离子体参数，将金刚石单晶沉积速率提升，达到国际领先水平。

“我们依托围场富集的绿(lǜ)电(lǜdiàn)资源，采用绿电耦合技术(jìshù)，设备综合能耗降低40%，可生产出纯度达99.999%的高品质金刚石，满足半导体级应用(yìngyòng)需求。装备可连续作业2000小时无故障，为规模化生产奠定基础，真正实现(shíxiàn)了技术自主可控和‘绿电造绿钻’零碳闭环生产，实现经济效益与环境效益双赢(shuāngyíng)。”河北投实晶铠科技有限公司技术总监吴伟庆说。

金刚石作为半导体终极材料，具有(jùyǒu)硬度高、耐腐蚀性强、导热性能优异等特性。“全球(quánqiú)金刚石装备市场正在以年均25%增速扩张，而传统工业制造面临纯度低(dī)和能耗高等技术短板，MPCVD技术恰好破解了这些难题。”承德凯捷新能源科技(kējì)有限公司总经理申伟东说，凯捷公司决定与(yǔ)投实晶铠公司深度合作，利用园区资源优势，实现(shíxiàn)绿电高效利用，绿色材料反哺，绿色能源价值跃升。

围场作为“国家首批绿色能源(néngyuán)示范县”，清洁(qīngjié)能源并网总量已达748.81万千瓦。近年来(jìnniánlái)，围场积极布局(bùjú)金刚石产业，通过精准招引与(yǔ)深度合作，对接清华大学等知名院所，着力打造“钒(fán)锂电池+氢能利用+装备制造”特色产业，因地(dì)制宜培育(péiyù)新质生产力，聚焦MPCVD设备及高端金刚石制造领域，创新提出“点石成金”“阳光制绿氢”“绿电造绿钻”等新能源消纳特色方案，将清洁电力与玄武岩加工、光敏半导体耦合制氢、半导体级金刚石制备等产业深度融合，实现资源就地转化，推动产业集群化、高端化发展。